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mpcvd即Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition的单词缩写，中文意思为微波等离子体化学气相沉积。MPCVD设备适合高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长.多种薄膜的CVD制备、材料表面处理和改性、低温氧化物的生长等。